no serviço único
O Newtek Gas apresenta um sistema de geração de oxigênio PSA de ponta (adsorção de swing de pressão) projetado especificamente para ambientes de fabricação de semicondutores. Esta solução modular oferece oxigênio de pureza ultra-alta de 99,5% com taxas de fluxo variando de 5-3000 nm³/h, apresentando recursos de integração inteligentes para operações de sala limpa.
Vantagens técnicas centrais
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99,999% O₂ Pureza
± 0. 5% de estabilidade de concentração através da análise de gás a laser em tempo real
0. 1μm Filtração em vários estágios (Hepa+Ulpa) garante a conformidade da ISO Classe 3
- 30% menor consumo de energia do que os sistemas convencionais
- O sistema de recuperação de calor reduz a carga térmica em ambientes Fab
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
O design escalável montado em skid suporta 20% -200% de expansão da capacidade
Unidade de compressão de ar (tecnologia de rolagem sem óleo)
Torre de purificação (remoção automática de umidade da TSA)
Gabinete de controle inteligente (PLC+HMI com protocolo Secs/GEM)
Aplicativos de processo semicondutores
✔ Oxidação térmica
Precision O₂ Supply para crescimento de óxido de porta (2-200 Å Controle de espessura)
✔ Gravura a seco
Suprimento de gás estável em plasma para padronização em nanoescala
✔ Purge de câmara CVD
Oxigênio ultra-seco para prevenção de contaminação por partículas
✔ Conectando a bolacha
Controle de atmosfera de alta pureza para ativação dopante
Sistema de monitoramento inteligente
Monitoramento de impureza em tempo real (detecção no nível do PPB)
Manutenção preditiva com algoritmo de IA (precisão de 98%)
Diagnóstico remoto via IIOT Platform (OPC UA/MTConnect)
Semi f 5-0202 padrões de gás limpo
Certificação de segurança elétrica CE/UL/ETL
ISO 14644-1 classe 3 Compatibilidade da sala limpa
nós fornecemos
▲ Rede Técnica Global:Suporte multilíngue 24/7 com 24/7 com<4hr response time
▲ Programa de otimização ao longo da vida:Auditoria anual de eficiência e serviço de substituição de peneira molecular (1- Ano Garantia)
▲Soluções personalizadas:Integração personalizada com sistemas AMHS/MMC
e design do sistema de recuperação de gás
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